Ausgehend vom Soft-Nanoimprint-Verfahren wurde im Rahmen dieser Arbeit die Self-Aligned Molding Technology (SAMT) entwickelt. Die SAMT-Prägetechnologie ermöglicht eine wesentliche Reduzierung des Justieraufwands zur Herstellung echter 3D-Strukturen. Das Konzept basiert auf einem ‚Waffeleisen‘-Prinzip in Mikrometergröße und erlaubt in einem einstufigen Prägeprozess die Erzeugung komplexer 3D-Strukturen und -Partikel. Die SAMT Prägeform wurde in Form von 35 µm breiten V-Gräben im elastischen Polydimethylsiloxan (PDMS) ...

Over recent years, a variety of nanostructure gas sensor designs have been published, utilizing structures such as planar high electron mobility transistors (HEMTs) and one-dimensional structures like nanorods, nanowires, and nanotubes. Even though these sensors have demonstrated responses to certain target gases, generally all designs also showed cross-sensitivites to other gases in the same order of magnitude. However, a concept for developing highly selective nanowire sensors that are sensitive to only one specific ...