Optische 3D-Präzisionsmessverfahren, wie Weißlichtinterferometrie oder konfokale Mikroskopie, die eine Höhenauflösung bis in den Subnanometerbereich sowie sehr kurze Messzeiten von unter einer Sekunde erreichen, haben sich in den letzten Jahrzehnten in industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen etabliert. Der aktuelle Trend in der Industrie ist die hundertprozentige Qualitätskontrolle. Schnell und kosteneffizient lässt sich dieses Ziel nur durch die Integration der Messsysteme direkt in den Fertigungsprozess ...