Chemical gas sensors based on functionalized self-actuated piezo-resistive cantilevers
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Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt in der Anwendung funktionalisierter Mikrocantilever mit integrierter bimorpher Aktuation und piezo-resistiver Detektion als chemische Gassensoren für den schnellen, tragbaren und preisgünstigen Nachweis verschiedener flüchtiger Substanzen. Besondere Beachtung erfährt die Verbesserung der Cantilever-Arbeitsleistung durch den Betrieb in speziellen Modi. Weiterer Schwerpunkt liegt in der Untersuchung von spezifischen Sorptionswechselwirkungen und Anwendung von innovativen Funktionsschichten, die bedeutend auf die Sensorselektivität wirken.
@phdthesis{urn:nbn:de:hebis:34-2009012125854, author ={Filenko, Denys}, title ={Chemical gas sensors based on functionalized self-actuated piezo-resistive cantilevers}, keywords ={620 and Gassensor and Kantilever}, copyright ={https://rightsstatements.org/page/InC/1.0/}, language ={en}, school={Kassel, Universität, FB 16, Elektrotechnik/Informatik}, year ={2009-01-21T12:38:40Z} }