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Chemical gas sensors based on functionalized self-actuated piezo-resistive cantilevers

Filenko, Denys

Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt in der Anwendung funktionalisierter Mikrocantilever mit integrierter bimorpher Aktuation und piezo-resistiver Detektion als chemische Gassensoren für den schnellen, tragbaren und preisgünstigen Nachweis verschiedener flüchtiger Substanzen. Besondere Beachtung erfährt die Verbesserung der Cantilever-Arbeitsleistung durch den Betrieb in speziellen Modi. Weiterer Schwerpunkt liegt in der Untersuchung von spezifischen Sorptionswechselwirkungen und Anwendung von innovativen Funktionsschichten, die bedeutend auf die Sensorselektivität wirken.

Sponsor
TASNANO EU-Project; AlphaContec GmbH; Universität Kassel; Technische Universität Ilmenau
Collections
@phdthesis{urn:nbn:de:hebis:34-2009012125854,
  author    ={Filenko, Denys},
  title    ={Chemical gas sensors based on functionalized self-actuated piezo-resistive cantilevers},
  keywords ={620 and Gassensor and Kantilever},
  copyright  ={https://rightsstatements.org/page/InC/1.0/},
  language ={en},
  school={Kassel, Universität, FB 16, Elektrotechnik/Informatik},
  year   ={2009-01-21T12:38:40Z}
}