Entwicklung und Herstellung eines Labor-Demonstrators für Mikrospiegel-Arrays zur Tageslichtlenkung
| dc.contributor.corporatename | Kassel, Universität Kassel, Fachbereich Elektrotechnik / Informatik | ger |
| dc.contributor.referee | Hillmer, Hartmut (Prof. Dr.) | |
| dc.contributor.referee | Ziegler, Marcus (Prof. Dr.) | |
| dc.date.accessioned | 2019-01-25T10:41:13Z | |
| dc.date.available | 2019-01-25T10:41:13Z | |
| dc.date.issued | 2018-05 | |
| dc.identifier | doi:10.17170/kobra-20190121105 | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/11034 | |
| dc.language.iso | ger | |
| dc.relation.projectid | 314578, 284533 | |
| dc.rights | Namensnennung-NichtKommerziell-KeineBearbeitung 3.0 Deutschland | * |
| dc.subject | Mikrospiegel | ger |
| dc.subject | Mikrospiegel-Arrays | ger |
| dc.subject | elektrostatische Aktuation | ger |
| dc.subject | aktive Fenster | ger |
| dc.subject | Eigenspannungen in Dünnschichten | ger |
| dc.subject | Krümmungsentwurf | ger |
| dc.subject | Krümmungsberechnung | ger |
| dc.subject | Design von mechanischen Spannungen | ger |
| dc.subject | Dünnschichtstapel | ger |
| dc.subject | Intelligentes Glas | ger |
| dc.subject | Tageslichtlenkung | ger |
| dc.subject.ddc | 620 | |
| dc.subject.swd | Spiegelsystem | ger |
| dc.subject.swd | Tageslichtsystem | ger |
| dc.subject.swd | Mikrosystemtechnik | ger |
| dc.subject.swd | MEMS | ger |
| dc.subject.swd | Array | ger |
| dc.subject.swd | Krümmung | ger |
| dc.title | Entwicklung und Herstellung eines Labor-Demonstrators für Mikrospiegel-Arrays zur Tageslichtlenkung | ger |
| dc.type | Dissertation | |
| dc.type.version | publishedVersion | |
| dcterms.abstract | Die Entwicklung und Herstellung eines Labor-Demonstrators für Mikrospiegel-Arrays zur Tageslichtlenkung wird beschrieben. Der Labor-Demonstrator besteht aus einem aktiven Fenster und einem Miniaturraum, wodurch die Funktionsweise der Mikrospiegel-Arrays in dem aktiven Fenster optimal dargestellt werden kann. Das aktive Fenster besteht aus einer Isolierverglasung mit einer Größe von 50 cm x 50 cm, in deren Scheibenzwischenraum vier unabhängig voneinander steuerbare Mikrospiegel-Arrays integriert sind, die eine Fläche von je 10 cm x 10 cm aufweisen. Die verwendeten Mikrospiegel-Arrays sind für ihren Einsatz im aktiven Fenster optimiert worden. Dazu werden in der vorliegenden Arbeit relevante Designparameter definiert, bestehende Verfahren zur Mikrospiegel-Herstellung bewertet, Schwachstellen identifiziert, geeignete Prozesse ausgewählt und optimiert. Die notwendigen Optimierungen am Mikrospiegel-System betreffen den elektrischen Isolator, die Aktuationsspannung und das Spiegelschichtsystem. Dem Spiegelschichtsystem kommt eine besondere Bedeutung zu, da es funktionsbestimmend für das Mikrospiegel-System ist. Die intrinsischen Spannungen der einzelnen Spiegelschichten müssen präzise eingestellt werden, damit sich die selbstorganisierenden Mikrospiegel wie vorgesehen aufrichten. Für den Labor-Demonstrator wird ein neues Spiegelschichtsystem aus Aluminium, Chrom und Aluminium entwickelt. Die Abstimmung der Schichtdicken und- abfolgen zur Einstellung einer optimalen Krümmung der Mikrospiegel erfolgt mit Hilfe analytischer Methoden. Die Durchführung weiterer Optimierungen wird beschrieben. Prozessoptionen und Entwicklungsziele werden abschließend vorgestellt und diskutiert. | ger |
| dcterms.accessRights | open access | |
| dcterms.creator | Tatzel, Andreas | |
| dcterms.dateAccepted | 2018-10-30 | |
| dcterms.extent | x, 196 Seiten |