2024-06-112024-06-112024http://hdl.handle.net/123456789/15832Zugleich: Dissertation, Universität Kassel, 2024engNamensnennung - Weitergabe unter gleichen Bedingungen 4.0 Internationalhttp://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/Electrostatic MOEMS microelementPull-in voltageActuation timeMaterial effectCasimir effect620Theoretical Analyses and Simulations of Characteristics of MOEMS Microelement Arrays for Daylight SteeringBuchMikrosystemtechnikMEMSElektrische SpannungTageslicht