2019-01-252019-01-252018-05http://hdl.handle.net/123456789/11034gerNamensnennung-NichtKommerziell-KeineBearbeitung 3.0 DeutschlandMikrospiegelMikrospiegel-Arrayselektrostatische Aktuationaktive FensterEigenspannungen in DünnschichtenKrümmungsentwurfKrümmungsberechnungDesign von mechanischen SpannungenDünnschichtstapelIntelligentes GlasTageslichtlenkung620Entwicklung und Herstellung eines Labor-Demonstrators für Mikrospiegel-Arrays zur TageslichtlenkungDissertationSpiegelsystemTageslichtsystemMikrosystemtechnikMEMSArrayKrümmung