2024-03-272024-03-272024http://hdl.handle.net/123456789/15608engUrheberrechtlich geschützthttps://rightsstatements.org/page/InC/1.0/MEMS based smart windowsmicromirror arraysC-V measurementsAmplitude Modulation Response (AMR)relaibilitylifetime testingMEMS-basierte intelligente FensterMikrospiegel-ArraysC-V-MessungenAmplitude Modulation Response (AMR)ZuverlässigkeitLebensdauertests530Static and Dynamic Characterization of MEMS Micromirror and Microshutter arrays: Reliability and LifetimeDissertationMEMSMikrosystemtechnikArrayAmplitudenmodulationGlassZuverlässigkeitLebensdauerEnergiebewusstes Bauen