2024-10-302024-10-302024http://hdl.handle.net/123456789/16127gerNamensnennung 4.0 Internationalhttp://creativecommons.org/licenses/by/4.0/optical metrologyquality assessmentnanosurfacesdiffractionKlettWeldingnanorodsoptische MesstechnikQualitätsbewertungNanooberflächenBeugung620Entwicklung und Charakterisierung von Messverfahren zur Bewertung von Nanostrukturen anhand deren optischen EigenschaftenDissertationOptische MesstechnikBeugungNanostruktur