2022-10-142022-10-142022http://hdl.handle.net/123456789/14191Zugleich: Dissertation, Universität Kassel, 2022engNamensnennung - Weitergabe unter gleichen Bedingungen 4.0 Internationalhttp://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/multisensorcoherence scanning interferometerconfocal microscopehigh-speed laser interferometercomparative measurements600BuchMultisensorInterferometerLaserinterferometerVergleichsmessungMesstechnikOberflächenstrukturÜbertragungsverhalten