Entwicklung einer selbstjustierenden Formgebungsstruktur zur Herstellung formspezifischer 3D-Partikel basierend auf Nanoimprint-Technologie

2022-12-192022-12-192020-11http://hdl.handle.net/123456789/14307gerAttribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internationalhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/3D StrukturierungNanoimprint600Entwicklung einer selbstjustierenden Formgebungsstruktur zur Herstellung formspezifischer 3D-Partikel basierend auf Nanoimprint-TechnologieDissertation3D-TechnologieNanoprägenNanopartikelProzessentwicklung <Technik>Prozessoptimierung